半导体激光阵列整形
半导体激光阵列整形是一种用于控制半导体激光阵列发射光束质量和形状的技术。通过对激光阵列中的各个激光器进行精确控制和优化,可以将输出光束整形为所需的模式。
整形方法
有几种不同的整形方法,包括:
近场衍射光栅 (NFG):在激光阵列前放置一个微结构的光栅,对出射光束进行衍射和整形。
远场干涉 (FFI):使用透镜和光束分离器将激光阵列产生的光束组合和整形。
相位整形 (PS):通过改变激光器相位或频率来整形光束。
自适应光学 (AO):使用可变的光学元件来补偿激光阵列中的不均匀性和畸变,从而实现整形。
优点
半导体激光阵列整形提供了以下优点:
改进的光束质量:整形可以减少光束发散角,提高光束强度和远场均匀性。
定制的模式:整形可以产生各种定制的模式,包括高斯、方形、圆形或线状光束。
更高的亮度:整形可以集中光束能量,从而提高亮度。
增强的耦合效率:通过整形光束模式,可以提高与光纤或其他光学元件的耦合效率。
应用
半导体激光阵列整形广泛应用于各种领域,包括:
激光雷达:用于提高探测范围和分辨率。
材料加工:用于精确切割、钻孔和熔化。
医疗成像:用于光学相干断层扫描 (OCT) 和内窥镜检查。
通信:用于减少光纤通信中的模式色散和非线性效应。
光显示:用于提高激光投影仪和虚拟现实设备的图像质量。
半导体激光阵列整形的成本取决于以下因素:
阵列尺寸和数量:阵列越大或数量越多,成本就越高。
波长:不同波长的激光器成本不同。
功率密度:功率密度越高的阵列成本越高。
质量和可靠性:高品质的阵列成本高于低品质的阵列。
定制化:定制的阵列成本高于标准阵列。
制造商和分销商:不同的制造商和分销商的成本可能不同。
一般来说,半导体激光阵列整形的成本从每片几百美元到每片数千美元不等。
以下是有关半导体激光阵列整形成本的一些具体示例:
100x100 微米的 808nm 阵列,功率密度为 100W/cm2:约 美元/片
50x50 微米的 940nm 阵列,功率密度为 200W/cm2:约 美元/片
定制的 200x200 微米的 850nm 阵列,功率密度为 300W/cm2:约 美元/片
请注意,这些成本仅供参考,实际成本可能因具体要求和市场条件而异。
半导体激光阵列整形原理
半导体激光阵列是一种由多个单个激光二极管组成的一维或二维排列。为了获得预期的输出光束质量和功率,需要对这些激光二极管进行整形。整形可以利用光学元件(如光栅、透镜和反射镜)或通过直接修改激光二极管本身的结构来实现。
光学整形
光栅整形:使用光栅将激光二极管的输出光束衍射成光栅图案。然后使用透镜将这些衍射光束聚焦到所需的输出光束形状。
透镜整形:使用透镜改变激光二极管的输出光束形状。透镜可以是柱面透镜、圆柱透镜或圆锥透镜,具体取决于所需的输出光束形状。
反射镜整形:使用反射镜将激光二极管的输出光束定向到所需的输出方向。反射镜可以是平反射镜、弯反射镜或抛物面反射镜。
直接整形
除了光学整形外,还可以通过以下方法直接修改激光二极管本身的结构来进行整形:
脊波导激光器:这些激光器具有脊状结构,可将光约束在脊中,从而导致输出光束更加准直。
面发射激光器:这些激光器具有大的发光面积,可产生均匀的光束分布。
垂直腔面发射激光器 (VCSEL):这些激光器通过垂直于芯片表面的光学腔发光,可产生近衍射极限的光束质量。
整形策略
用于整形激光二极管阵列的具体策略取决于所需的输出光束质量、功率和尺寸。以下是一些常见的整形方法:
单模式整形:产生具有单个横向模式和高方向性的光束。
多模式整形:产生具有多个横向模式和较低方向性的光束。
功率组合整形:将多个激光二极管的光束组合在一起以产生具有更高功率的光束。
光束整形:改变光束的形状和尺寸以满足特定应用的要求。
通过结合光学整形和直接整形技术,可以将激光二极管阵列整形到所需的输出光束特性,使其适用于各种应用,包括光通信、激光加工和医疗成像。
半导体激光操作流程
1. 电流注入
向激光二极管施加电压或电流,使载流子(电子和空穴)注入有源区。
2. 载流子复合
注入的载流子在有源区复合,释放能量。
3. 光子产生
释放的能量以光子的形式释放,其波长由有源区的带隙和尺寸决定。
4. 光反馈
产生的光子在谐振腔内来回反射,通过受激辐射产生更多的光子。
5. 受激辐射
谐振腔内不断反射的光子与有源区中的激发态载流子相互作用,迫使载流子向更低能量态跃迁,同时释放出与入射光子相同波长的光子。
6. 光放大
通过受激辐射产生的光子数量增加,导致光波的放大。
7. 激光输出
当光波的增益超过其损耗时,就会达到激光阈值,产生激光输出。
激光输出通过一个或多个输出耦合器释放。
8. 光整形
输出光束可以进一步整形,以获得所需的模式、波长和强度分布。
9. 稳定
可以使用温度控制、电流控制和光学反馈等技术来稳定激光输出。
附加步骤(某些类型激光器):
模式锁定
通过引入外部调制机制来实现激光输出的相干性和稳定性。
Q开关
使用外部调节器快速切换谐振腔的品质因数,产生高能量脉冲。
锁模
将多个模式锁定在一起,产生超短脉冲。